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MSP CorporationSiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子
品 牌： MSP Corporation 價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格 所 在 地： 上海浦東新區(qū) 更新日期： 2025-07-01 詳細(xì)信息級(jí)別：基準(zhǔn)試劑 規(guī)格：*** 品牌：MSP Corporation SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子
納米二氧化硅™尺寸標(biāo)準(zhǔn)
MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。
這些粒徑標(biāo)準(zhǔn)目前提供的標(biāo)稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。
雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統(tǒng)為表面缺陷校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)提供了*佳結(jié)果，但較舊的 MSP 系統(tǒng)和其他制造商的系統(tǒng)也適用于納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)。
特征
+ 極其均勻的尺寸分布
我們的納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)采用獲得專利的 SiO2合成工藝開發(fā)，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI 可追溯性測量的峰直徑
允許產(chǎn)量提高和計(jì)量小組根據(jù) ISO 9000 標(biāo)準(zhǔn)和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。
+ 受到強(qiáng)烈 DUV 輻射時(shí)穩(wěn)定
MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時(shí)不會(huì)降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會(huì)減小。
+ 易于使用
NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應(yīng)用中混合具有適當(dāng)數(shù)量濃度的懸浮液時(shí)使用方便。
+ 高粒子濃度
一些應(yīng)用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(yè)內(nèi)*高的之一。
+ 輕松辨別模態(tài)（峰值）直徑
+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導(dǎo)致的差異
+ 制備適用于效率相對較高或較低的氣溶膠產(chǎn)生裝置的稀釋懸浮液
+ 為*先進(jìn)的檢測工具創(chuàng)建持久的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)
+ 消耗更少的材料；存錢
+ 隨附校準(zhǔn)和可追溯性證書以及帶有處理和處置說明的安全數(shù)據(jù)表 (SDS)
1給定目錄號(hào)的認(rèn)證直徑將在規(guī)定范圍內(nèi)提供。
型號(hào)
目錄編號(hào)標(biāo)稱粒徑 [nm] 認(rèn)證1峰值直徑 [nm] 大約
Size Dist. Width, RFWHM2
1044 NS-0015A 15 14-16 13% 1046 NS-0018A 18 17-19 12% 1047 NS-0020A 20 19-21 11% 1048 NS-0024A 24 23-25 10% 1075 NS-0027A 27 26-28 9% 1049 NS-0030A 30 29-31 8% 1079 NS-0032A 32 31-33 7% 1062 NS-0035A 35 34-36 7% 1076 NS-0037A 37 36-38 6% 1051 NS-0040A 40 39-41 6% 1063 NS-0045A 45 44-46 5% 1052 NS-0050A 50 49-51 5% 1077 NS-0055A 55 53-57 5% 1053 NS-0060A 60 58-62 4% 1067 NS-0064A 64 62-66 4% 1054 NS-0070A 70 68-72 4% 1068 NS-0074A 74 72-76 4% 1055 NS-0080A 80 78-82 4% 1069 NS-0084A 84 82-86 4% 1057 NS-0090A 90 88-92 4% 1070 NS-0094A 94 92-96 4% 1058 NS-0100A 100 98-102 4% 1071 NS-0104A 104 102-106 4% 1059 NS-0125A 125 120-130 4% 1060 NS-0150A 150 145-155 4% 1061 NS-0200A 200 190-210 4%
2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態(tài)直徑。
規(guī)格
粒子組成 無定形SiO2 粒子密度 1.9 克/厘米3 折射率 633納米時(shí)為1.41英寸 體積 5 毫升 專注 每毫升 1013至 1015顆粒 截止日期 ≥ 24 個(gè)月
添加劑乙醇（按質(zhì)量計(jì) 5-20%）
有機(jī)穩(wěn)定劑（<0.1% 質(zhì)量）
儲(chǔ)存和處理在室溫下儲(chǔ)存（參見校準(zhǔn)和可追溯性證書
更多詳情。
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇，是市面上*理想、高質(zhì)量的校正標(biāo)準(zhǔn)，適用于*新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。
*先進(jìn)的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正，但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當(dāng)UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹�(wěn)定的質(zhì)量，因此SiO2微粒子是*佳的替代產(chǎn)品。
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是使用有專利的SiO2合成技術(shù)，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前*小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是尺寸*均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標(biāo)準(zhǔn)單位的產(chǎn)品，加上ISO 9000與SEMI的認(rèn)證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評(píng)估有所依據(jù)。
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標(biāo)皆標(biāo)示產(chǎn)品編號(hào)、生產(chǎn)編號(hào)、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
產(chǎn)品優(yōu)勢
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹�(wěn)定的質(zhì)量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液
產(chǎn)品效益
•易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
•可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產(chǎn)生設(shè)備使用
•提供耐久校正標(biāo)準(zhǔn)給先進(jìn)的檢測設(shè)備使用
•省錢而且耗用量少 -
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