氣體塵埃粒子計數器的校正程序

一． 校正所需設備

1.100級潔凈房或潔凈臺

2. 一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器

3.各粒徑的標準粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4.標準粒子氣體產生器，如Model 255

5.可產生脫離水（DI水）的純水系統或類似裝置

6.其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等

二. 校正的基本步驟：

    現假設對一臺常見的粒子計數器作校正

1．首先，要清楚產品有何差別，其測試原理一樣流速為1CFM（立方英尺/分鐘） 

2．首先請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開機器讓其預熱半小時。

3．準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4． 將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5．設置粒子計數器的基本參數

（1） 取樣時間都設置為00：01：00

（2） 取樣次數都設置03

（3） 取樣模式都設置為Auto

（4） 間隔時間都設置為00：00：05

（5） 讀數模式都設置為Cumulative

 注：以上設置相同，因其流速有10倍差 

6． 此時，打開255電源，調節脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態。

7．此時機器工作，看其三次的平均結果，若在20%以內，視為合格。

8．拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。

9．以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。